国产成人综合亚洲欧洲,丁香六月婷婷婷色香五月综合,久久人妻蜜桃一区二区三区

晶圓真空壓力烘箱

除泡品類 | 可以容納50片12寸晶圓，雙腔體可分別獨立控制

溫度	RT~250℃
智能真空壓力切換	Std
智能壓力控制	Option
智能溫控	Std
智能控氧	Option
智能揮發物收集	Option
智能診斷	Std
智能安全保護	Std
自動化整合	Option

產品特征

設備參數

1、用于12寸及以下CtW晶圓底填后、晶圓貼DAF芯片工藝的除泡
2、電力要求：AC220or380V 3Phase,50/60Hz，50A
3、設備尺寸：W155 x D165 X H230 cm
4、設備重量：≈1700kg
5、控溫范圍 RT~250℃
6、升溫速率：≥10℃min （快速升溫）
7、降溫速率：10℃/min(200→80 ℃) （快速降溫）
8、壓力范圍：20torr~8kg （真空極限值可達0.75torr）
9、壓力均一性：≤±0.1kg/cm2
10、加熱工作區域：單個腔體 W49 x D58X H39.2cm
11、溫濕度：溫度 23±1℃，相對濕度 40%~50%
12、腔體結構：上下獨立腔體，單個腔體能容納一個晶圓盒（設計晶圓放置量為：12寸，25片），合計可容納2個12寸晶圓盒/50片wafer
13、設計有7個溫度測試點，（爐腔中間1個主測試點+左/右爐腔各3個參考測試點）
14、系統配置，能夠以系統圖形式顯示系統流量，溫度；具有編輯，調用，存儲及查詢等功能，便于工藝管理；提供可編輯的正版組件控制軟件系統，方便用戶未來組件升級；兼容windows 和 office 系統可直接輸出office格式的數據記錄文件和菜單文件
15、配備化學品、高溫、高壓部分都貼有危險標記以提醒注意；可活動和轉動的機械部分都貼有危險標記

技術優勢

真空、壓力、溫度和時間等幾項參數完全開放
上、下獨立腔體，可獨立進行控制
SECS/GEM 、EAP、MES等通訊協議開放
MTBF 大于 168 Hr，MTTR 小于 60 min，MTBA 大于 12 Hr
極限真空度≤0.75torr
抽真空能力：760→ 10torr ≤6 min，在高溫≥150℃環境下可實現
釋放真空能力：10→760torr ≤3 min
升壓能力：0 →8kg/cm2 ≤10 min；0 →10kg/cm2 ≤15 min
泄壓能力：8 →0kg/cm2 ≤5 min；10 →0kg/cm2 ≤6 min
含氧量控制≤20ppm
升溫速度≥10℃/min
降溫速度≥10℃/min(200→80 ℃)
多類材料氣泡殘留率≤1%
溫控精度≤1℃,均勻性≤±3℃(@5kg/cm2壓力)
烘烤前自主檢查功能，確保設備功能完好
完整的保養提醒功能，并可協助完成保養步驟且記錄可追溯
特有的備品+耗材使用年限提醒計算功能
腔體內潔凈度依照Class100標準（設備放置環境也需達到Class100才能達標）
真空/壓力參數可多重+多段式設置（作業參數可設置多重多段真空、飽壓交互切換功能）
Up time (正常運行時間)≥95%
低溫、中溫、高溫全溫段抽真空功能（RT~250℃）
收集膠體揮發物功能（延長機臺清潔度及壽命）
雙增壓系統(智能偵測，智能切換),滿足飽壓 10kg/cm2(Max)
雙溫控系統 (主溫控系統+輔助溫控系統)
雙重壓力檢知功能（內部自檢相互比較，壓力感應錯誤時自動切換），雙重檢知雙重保護
漏水偵測功能，設備底部配置水浸感應線+漏水告警器
腔門自動化開啟 /關閉，具備防撞防護安全系統
斜率式升/降溫（可依照工藝設定:by time/by temperature）
專利增壓實時修復功能（可預防烘烤中增壓失效）
UPS，電腦20min斷電保護（視特殊機臺而定）
產品緊急取出處理（安全過程控制）功能；當設備在制程中發生異常時，可針對特定
要求執行產品快速及安全取出。適用時機 :
1)執行產品烘烤時，Pressure oven 制程中發生異常狀態
2)廠務設施水/氣/電異常，觸發Pressure Oven 異常警報時
3)設備未定期保養維護或更換非原廠組件，導致零件異常觸發警報時
安全互鎖功能：具有異常報警功能及緊急停止系統，并滿足手動、自動、維護多種控制模式
軟件功能，至少4級用戶權限管理，用戶可以對工藝配方進行創建、刪除、修改等操作；可隨時查歷史、實時報警、作業、參數情況；可進行部件生命周期管理
工藝異常(工藝狀態下的壓力、流量、溫度超出正常范圍)后會立即報警，異常片在腔體內等待人為判斷并處理，系統停止繼續取片

產品應用

IGBT-EPOXY POTTING環氧灌封
IGBT-CHIPSINTERING 芯片燒結
UNDERFILLING 填充
UVLED-CUF+POTTING
2.5D/3D IC-NCF OR CUF
DIODE-PICOATING 二極管-鉛圖層
貼壓膜后-除泡
LCD貼壓膜后-除泡
黏晶-(DAF干膜)
點膠/印刷/灌封
通孔填充除泡
毛細填充(CUF)
DIE ATTACHED
LC TAPE
熱傳導材料TIM
模組覆膜
封裝(液體化合物)
TC黏接(熱壓縮黏接)

聯系我們

*姓名

*公司名稱

*職位

*電話

*郵箱

*您是？

*服務類型

所處行業

需求備注

屹立芯創重視您的隱私安全，為保護您的用戶信息，表單已采用符合業界標準的安全防護措施，防止數據遭到泄露、修改或損失。

* 同意

韩国三级人伦_国产精品秦先生手机在线_A一级特黄高清日本大片_精品视频永久免费_4438com免费观看国产_一级片手机在线视频_色狠狠一区二区三区熟女探花_日韩精品成人无码AV片